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光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。镀膜光刻机是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

简单说的话，光刻机就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的光刻机相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的光刻机(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

光刻机会卡住中国制造的脖子吗?

近日，中科院又传来了一个好消息，中科院院长白春礼宣布：未来中科院将集中全院的科研力量攻克被美国卡脖子的芯片制造技术，而光刻机将是重中之重。这意味着中科院将全面介入光刻机和芯片制造领域，为国产芯片制造领域赶超世界先进水平扫清道路，不得不说这是中科院事关中国科技崛起的一步大棋。

中科院是全球最大的科研机构，研究领域覆盖了科技领域的方方面面，除了美国科学院能与其相提并论之外，全球鲜有匹敌。在中科院正式宣布进入光科技领域之后，台积电、ASML、三星等芯片制造巨头都感受到了巨大的威胁。

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2020年中国光刻机市场发展现状

主要的光刻机生产厂家包括：ASML、尼康、佳能、欧泰克、上海微电子装备、SUSS、ABM Inc.等。

高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国)，日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。

生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机，分辨率通常在数微米以上。2018年11月29日，国家重大科研装备研制项目"超分辨光刻装备研制"通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力达到22纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片。

随着光刻机行业竞争的不断加剧，大型企业间并购整合与资本运作日趋频繁，国内外优秀的光刻机企业愈来愈重视对行业市场的分析研究，特别是对当前市场环境和客户需求趋势变化的深入研究，以期提前占领市场，取得先发优势。中研普华利用多种独创的信息处理技术，对光刻机行业市场海量的数据进行采集、整理、加工、分析、传递，最大限度地降低客户投资风险与经营成本，把握投资机遇，提高企业竞争力。

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