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扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大, 视野大, 成像立体效果好。

扫描电子显微镜基本原理

扫描电子显微镜电子枪发射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源;点光源在加速电压下形成高能电子束;高能电子束经由两个电磁透镜被聚焦成直径微小的光点, 在透过最后一级带有扫描线圈的电磁透镜后, 电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面, 同时激发出不同深度的电子信号。此时, 电子信号会被样品上方不同信号接收器的探头接收, 通过放大器同步传送到电脑显示屏, 形成实时成像记录 (图a) 。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有:俄歇电子 (Au E) 、二次电子 (SE) 、背散射电子 (BSE) 、X射线 (特征X射线、连续X射线) 、阴极荧光 (CL) 、吸收电子 (AE) 和透射电子(图b) 。每种电子信号的用途因作用深度而异。

扫描电镜应用

扫描电镜应用于医学、生物、农业、材料科学、冶金、化学、制药、半导体、电子器件和公安等领域中进行物质成分、结构和状态分析。

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2020扫描电镜行业发展现状及市场前景趋势规模预测

数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。我国经济经过多年持续高速发展，各行业对扫描电镜的需求也呈现出前所未有的增长态势。

目前我国的大型电镜(排除台式电镜)，目前国内在用的保有量大约有8000-9000台，每年以几百台的量在增加。如果算上台式电镜，国内目前的在用电镜保有量将达数万台。

电镜产业从改革开放到我国加入WTO后，我国经济的快速发展为电子显微镜产品带来空前巨大的市场空间，电镜产品的应用领域越来越广泛，随着国家加大对基础科研和教育领域的投资力度，许多科研院校迫切需要也有能力更新或新添加大型实验设备。但是我国电镜工业还没有形成完整的产业链，由于国外电镜品牌强劲的实力，国产电镜企业发展不景气，人才流失现象严重;电镜产业化的过程非常缓慢，电镜样机到市场化产品仍有距离。中科科仪是我国电镜产业的支柱企业，目前是国内唯一可以生产商品化电镜的企业，但同样在与国外品牌的竞争中处于劣势，虽然可以满足大部分用户的使用需求，但是不能规模化生产，成本就无法降下来，价格上没有优势。

借着材料、医学、电子等行业的大发展的东风，电镜行业近年来发展迅猛。电镜产品涉及领域的广泛性和应用普及，电镜行业所面临的经济环境，未来电镜的需求量将继续猛增，电镜产业的形势一片大好，但是面临外来品牌的强大压力也越来越明显。

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